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  • PTB entwickelt Echtzeit-Laserüberwachung der AMC-Kontaminierung im Reinraum

    02. September 2013
    Kontaminierung

    Schon kleinste Konzentrationen können Bauteile und Hightech-Produkte beschädigen. Daher steigen die Anforderungen an Reinheit in Produktionsbereichen stetig. Den wachsenden Herausforderungen in diesem Bereich stellt sich nunmehr die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) in ganz besonderer Weise. Gemeinsam mit internationalen Partnern entwickelt sie eine Echtzeit-Laserüberwachung luftgetragener Chemikalien im Bereich der Halbleiterfertigung. Wir haben nachgefragt.

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