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  • 13. Juli 2011

    REINRAUM: INTERVIEW mit DI Jörg Vierhaus

    Reinraumtechnik ist an so manchen Universitäten längst zu einem speziellen Studienfach geworden. An der Universität Magdeburg ist diese Thematik bereits ein unverzichtbarer Teil des Studiengangs „Halbleitertechnologie“. Hier gibt es auch einen Reinraum, der nach modernsten Aspekten ausgestattet ist. Wir haben nachgefragt: Im Gespräch mit Jörg Vierhaus.

    DI Joerg Vierhaus im Reinraum der Uni Magdeburg

    DI Jörg Vierhaus erklärt zwei Studentinnen die Steuerung eines thermischen Oxidationsofens (Foto: Uni Magdeburg)

    Der Ingenieur hat ein Studium der Werkstoffwissenschaften mit Schwerpunkt Werkstoffe der Elektrotechnik mit Diplom im Jahre 1994 absolviert. Von 1994 bis 1998 arbeitete Jörg Vierhaus als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen IIS-B in Erlangen. Seit 1998 ist Vierhaus Wissenschaftlicher Leiter des Reinraums der Otto-von-Guericke Universität Magdeburg.

    Jörg Vierhaus, seit dem Jahr 2001 verfügt der Lehrstuhl Halbleitertechnologie über einen 90 Quadratmeter großen Reinraum der Klasse 10 – 100 für Siliziumtechnologie. Was genau müssen wir uns darunter vorstellen?

    Die Studenten verschiedener Studiengänge der Elektrotechnik an der Otto-von-Guericke Universität Magdeburg haben die Möglichkeit das Arbeiten in einem modernen Reinraum im Rahmen eines Praktikums zu erlernen. Weiterhin besteht die Möglichkeit Studien- und Diplomarbeiten im Reinraum durchzuführen. Weiterführend bieten wir die Möglichkeit umfangreiche technologie- und bauelementorientierte Doktorarbeiten in diesem modernen Umfeld durchzuführen. Seit 2003 bilden wir in unserem Reinraum zudem Mikrotechnologen mit dem Schwerpunkt Halbleitertechnologie aus.

    Mit welchen Thematiken innerhalb der Reinraumtechnologie werden die Studierenden konfrontiert?

    Am Anfang stehen natürlich die Sicherheitsbestimmungen, da im Reinraum mit einer Vielzahl von Gefahrstoffen gearbeitet wird. Auch das richtige Verhalten im Reinraum und die Kleidungsordnung werden unterrichtet, um Kontaminationen des Equipments und der Siliziumwafer zu vermeiden. Die Studenten durchlaufen die verschiedenen Stationen einer modernen Halbleitertechnologie, damit sie die Herstellungsverfahren der Siliziumtechnologie kennen lernen. Zum Einsatz kommen sowohl hoch automatisierte Anlagen, aber auch manuelle Technik bei denen es sehr auf Sorgfalt und manuelles Geschick ankommt. Wir verwenden bei uns 150mm und 200mm Siliziumwafer, um den Studierenden die technologischen Abläufe industriekompatibel beibringen zu können.

    Über welche Ausstattung verfügt der universitäre Reinraum und für welche Projekt-Analysen ist er geeignet?

    Nasschemiebank im Reinraum der Uni Magdeburg

    Ein Mitarbeiter des Reinraums führt Prozesse an der Nasschemiebank durch (Foto: Uni Magdeburg)

    Der Reinraum verfügt über eine komplette Ausstattung aus den Bereichen Nasschemie, Fotolithographie, chemische und physikalische Gasphasenabscheidung, Trockenätzen, thermische Oxidation und physikalische und chemische Analytik. Damit ist es möglich Bauelementprototypen, wie z.B. Sensoren oder Solarzellen komplett im Reinraum herzustellen und zu untersuchen. Diese Ausstattung ist die Basis auf der Studierende in Praktika und weiterführenden Arbeiten unterrichtet werden können. Darüber hinaus stellt der Reinraum mit seinem Equipment und seinen gut ausgebildeten Mitarbeitern die technologische Basis für Forschungsprojekte dar.

    Stößt die Reinraumtechnologie bei den jungen Studierenden auf großes Interesse oder wird dieses Thema eher „nur“ mitgenommen und gestreift?

    Leider ist in den letzten Jahren das Interesse an anspruchsvollen MINT Studiengängen zurückgegangen, obwohl die Berufsaussichten kaum besser sein könnten. Von den Studierenden der Elektrotechnik, aber auch aus dem Bereich Wirtschaftsingenieurwesen ist das Interesse an der Halbleitertechnologie groß. Viele Studierende nutzen die Gelegenheit schon während des Studiums den Umgang mit High-Tech Anlagen zu erlernen. Wer sich um einen Arbeitsplatz in der Chipindustrie bewirbt, kann sich durch seine praktischen Erfahrungen während des Studiums sehr aussichtsreiche Möglichkeiten sichern.

    Wie hoch ist der weibliche Anteil jener, die sich für Reinraumtechnik interessieren?

    Da der weibliche Anteil der Studierenden im Fachbereich Elektrotechnik noch eher gering ist, haben wir bisher nur relativ wenige Studentinnen im Reinraum betreut. Bei der Ausbildung zur Mikrotechnologin bzw. zum Mikrotechnologen haben wir im Reinraum schon seit Jahren mehr weibliche als männliche Auszubildende.

    Sie nutzen den universitären Reinraum auch zu Forschungszwecken. In welchen Bereichen?

    Rasterelektronenmikroskop im Reinraum der Uni Magdeburg

    Ein Reinraummitarbeiter führt Messungen am Rasterelektronenmikroskop im Reinraum durch (Foto: Uni Magdeburg)

    Der Reinraum wird für eine große Anzahl von Forschungsprojekten genutzt. Vertreten sind sowohl Projekte aus dem Bereich der Grundlagenforschung, aber auch anwendungsorientierte Untersuchungen in Zusammenarbeit mit Industriepartnern. Als Beispiele kann ich die Entwicklung aus dem Bereich Schichtabscheidung CVD nennen: Hier wurden und werden neue Schichtsysteme z.B. Germanium-Antimon-Tellurid erforscht, die in kompakten energiesparenden Bauelementen eingesetzt werden können. Unsere Arbeiten werden projektbezogen durch Forschungsmittel der DFG und des BMBF gefördert.
    Es werden aber auch Forschungsarbeiten auf dem Gebiet der Sensorsysteme bearbeitet. Ein Beispiel ist die Entwicklung von Wind- und Regensensoren für neuartige Wetterstationen.

    Wird Reinraumtechnologie den energetischen Wandel stark beeinflussen? Gerade erst im letzten Jahr gab es eine Veranstaltung im Reinraum der Uni Magdeburg, zu der Solarzellen aus Wafern entwickelt wurden.

    Nasschemiebereich des Reinraums der Uni Magdeburg

    Blick in den Analytik- und Nasschemiebereich des Reinraums (Foto: Uni Magdeburg)

    Ja auch auf dem Gebiet der regenerativen Energieerzeugung wird im Reinraum geforscht. Sowohl an der Weiterentwicklung von Solarzellen, als auch bei der Entwicklung von Sensorsystemen für Windkraftanlagen wird intensiv im Reinraum des Lehrstuhls Halbleitertechnologie geforscht. In Zusammenarbeit mit mittelständischen Firmen forschen wir an neuen Technologien zur Energieeffizienz und dem Einsatz neuer Materialien in der Energiegewinnung aus Solarzellen.

    Welchen Stellenwert ordnen Sie Reinraumtechnik in der Zukunft ein?

    Die immer höher werdende Automatisierung in der Fertigung, sowie der immer größer werdende Bedarf an modernen High-Tech Produkten stellt der Reinraumtechnik eine stark steigende Bedeutung in Aussicht. Wir stellen schon seit Jahren fest, dass Studierende aus diesem Umfeld meist noch vor Abschluss ihres Studiums einen interessanten und gut bezahlten Arbeitsplatz finden.

    – Das Interview führte Ursula Pidun –


    Verfasst von Ursula Pidun

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