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  • 01. Juni 2011

    Reinraum

    Reinraum in der Halbleiterindustrie

    Reinraum definiert sich über luftgetragene Teilchen! (Foto: Eliza Snow / iStockphoto)


    Man spricht von einem Reinraum, wenn die luftgetragenen Teilchen im Raum eine bestimmte Anzahl und Größe pro Kubikmeter nicht überschreiten.
    Die Norm EN ISO 14644 legt durch die Definition von Reinraumklassen die entsprechenden Grenzwerte fest.

    Lesen sie dazu folgenden Artikel:

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